深圳华瑞测XPS检测实验室,以X射线为激发光源的光电子能谱,简称XPS或ESCA[1]。处于原子内壳层的电子结合能较高,要把它打出来需要能量较高的光子,以镁或铝作为阳极材料的X射线源得到的光子能量分别为1253.6电子伏和1486.6电子伏, 此范围内的光子能量足以把不太重的原子的1s电子打出来。周期表上第二周期中原子的1s电子的XPS谱线见图1。结合能值各不相同,而且各元素之间相差很大,容易识别(从锂的55电子伏增加到氟的694电子伏),因此,通过考查1s的结合能可以鉴定样品中的化学元素。
XPS能够检测到所有原子序数大于等于3的元素(即包括锂及所有比锂重的元素),而不能检测到氢和氦。
对大多数元素而言的检测极限大约为千分之几,在特定条件下检测极限也有可能达到百万分之几,例如元素在表面高度集中或需要长时间的累积时间。
XPS被广泛应用于分析无机化合物、合金、半导体、聚合物、元素、催化剂、玻璃、陶瓷、染料、纸、墨水、木材、化妆品、牙齿、骨骼、移植物、生物材料、油脂、胶水等。
XPS可以用来测量:
表面的元素构成(通常范围为1纳米到10纳米)
纯净材料的实验式
不纯净表面的杂质的元素构成
表面每一种元素的化学态和电子态
表面元素构成的均...
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